工商時報記者涂志豪／台北報導
特用化學原料暨材料供應商英特格（Entegris）昨（31）日宣布進一步在台灣投資約600萬美元（約新台幣1.8億元）升級台灣技術研發中心，以因應先進製程及關鍵半導體製程在產量、可靠度及性能方面的需求。
英特格表示，為擴大台灣技術研發中心功能，導入高靈敏度KLA SP3晶圓檢測系統及相關設施，包含Class 10無塵室及ACT12塗佈機在內，還進一步擴建其新竹廠房，以增進用於化學機械研磨（CMP）過濾器的奈米熔噴（Nano Melt Blown，NMB）濾芯產能。
英特格砸1.8億，重金投資台灣。（示意圖／好房網資料中心）
除了新竹廠以外，英特格也於桃園楊梅及湖口設廠，在地生產、製造商品及提供服務。英特格在台灣擁有多元的產品組合，包含CMP及AMC（先進微污染控制）過濾器，以及高密度聚乙烯（HDPE）桶等各類產品，服務範圍則包含泵浦維修、靜電吸盤（E-Chuck）鍍膜及晶圓清潔等。
英特格表示，台灣半導體製造商朝向先進製程發展，因而也愈來愈需要在其晶圓廠內進行高靈敏度晶圓缺陷檢測，以提升產量。台灣技術研發中心此次引進KLA SP3晶圓檢測系統，也讓英特格在台灣的晶圓檢測能力擴展至19奈米。新檢測工具的導入，再加上台灣技術研發中心內知識且經驗豐富的科學家團隊，讓英特格得以自行產出晶圓缺陷的數據，以引導新產品開發及改善產品性能。
由於客戶致力改善下一代關鍵半導體製程，因此其對CMP過濾需求也日益增加，包括英特格的NMB濾芯產品。有鑑於此，英特格擴大了新竹廠的NMB產線，並透過與台灣工程團隊及在地客戶的合作，開發及提供更多NMB產品，以協助客戶精進其製程，縮短上市時間，在市場取得先機。
