聯合報記者周宗禎／綜合報導
國科會南部科學園區管理局晚間公告「科學園區審議會第18次會議核准投資案」結果：微影半導體、中勤實業兩家公司通過獲准分別進駐台南、高雄園區投資。
南科管理局表示，轄下台南、高雄、橋頭、嘉義、楠梓及屏東園區，今年截至8月20日共引進11家廠商，累計投資金額234.9億元。目前園區總計核准廠商276家。
這次核准投資申請案廠商微影半導體公司申請於台南園區投資設立，投資金額5.5億元，研發生產半導體曝光機、塗佈顯影機及檢測設備。該公司採用LED光源及投影鏡頭，可達成0.35微米曝光精度，1:10高焦深，且因以LED紫外光為產品光源，耗能約為汞光源的1％，有節能環保及高性價比等特色。
科管局主持，該公司具備三項產品集成能力，未來進駐台南園區後，將強化南科半導體產業聚落，並有助於未來國內半導體設備產業國產化發展。
中勤實業申請於高雄園區投資設立南科分公司，投資金額4億元，研發生產半導體及光電產業晶圓用載具、電子及其他高科技產業用載具、晶圓載具智能傳輸設備及晶圓載具清洗循環服務。
該公司致力材料研發到載具製造及載具自動化傳輸設備開發，提供全方位一條龍服務，進駐高雄園區後將擴大載具高分子塑膠材料與智能傳輸設備研發量能，以高效塑膠材料及生質油萃取相關技術，提供創新及友善環境高潔淨材料載具，帶動綠色循環經濟發展及產業創新轉型，公司已獲半導體龍頭大廠供應商製程改善獎，另公司藉與海外微電子研發中心合作，積極拓展國際市佔率，進駐高雄園區後有助國內半導體材料與設備在地化，同時強化南科半導體產業聚落，並提升台灣全球關鍵地位。
