經濟日報記者鐘惠玲、張瑞益／台北報導
台灣半導體耗材業出頭天，鑽石碟供應商中砂與靶材廠光洋科入列台積電（2330）將在下半年量產、最先進的3奈米製程第一波協力廠名單，打破過往台積電先進製程量產初期，相關耗材由美、日大廠壟斷的局面。
業界分析，台灣耗材廠產品質量與價格都較外商具優勢，不僅有助台積電優化成本，對中砂、光洋科等業者來說，有了台積電的3奈米製程認可，也將成為開拓海外市場，爭取英特爾、三星等國際大廠訂單的利器，不僅助攻個別公司業績可期，更進一步提升台灣在全球半導體業供應鏈地位。
台積電規劃，3奈米製程將如期於今年下半年量產。台積電總裁魏哲家先前在法說會上強調，3奈米是繼5奈米之後，台積電另一個長期成長節點，客戶看來也比預期多，主要用於高速運算與智慧手機領域。
換言之，台積電高度重視3奈米生產，中砂、光洋科產品獲得量產初期導入採用，凸顯產品優勢與品質穩健。中砂、光洋科都對入列台積電3奈米第一波協力廠名單低調，不願多談。
業界透露，鑽石碟主要用於薄膜製程之後的平坦化製程，牽動台積電製程良率，台積電先進製程多採用一家有數字開頭為名的美商產品，如今大量導入中砂的鑽石碟，凸顯中砂產品已與國際大廠並駕齊驅。
據了解，為配合台積電持續耕耘先進製程，中砂特地購買與客戶生產線上一模一樣的CMP設備，另外在檢測設備大投資，希望透過模擬與檢測先找出可能的問題，讓自家的鑽石碟產品能確實符合客戶的需求。由於3奈米製程所用鑽石碟要求規格較高，中砂必須為此開發新技術，所以相關產品售價也隨著提高，推升中砂業績火熱。
靶材是半導體濺鍍材料，也是生產過程當中不可或缺的關鍵。過往台積電靶材供應商主要以日商日礦與美商Honeywell為主。
為分散供應鏈，台積電也與光洋科合作，在南京廠28奈米製程導入光洋科產品，雙方也共同開發高純度6N的銅合金靶材，去年底開始小量出貨並通過驗證，近期出貨量持續成長中。據悉，光洋科與台積電在先進製程合作，初期從7奈米開始進入，並延伸至5奈米。光洋科在台積電供應鏈和國際靶材大廠同台競爭下，產品獲肯定後，順勢進入更先進的3奈米製程供應鏈。
光洋科為取代美、日大廠，成為台積電3奈米靶材供應商，去年已建立大型靶材塑型成形中心，目前該公司新建置的大型靶材塑型成形中心已完工，未來將用於生產18吋的大型靶材，規劃三階段擴產，有助今年半導體工繳呈現逾倍數增長，也將帶動該公司在半導體領域占工繳比重正式突破三成。
