經濟日報記者李孟珊、尹慧中、鐘惠玲/綜合報導
台灣東部外海3日上午7時58分發生規模芮氏規模7.2強震,打亂全台半導體業生產,台積電(2330)等晶圓生產線均出現生產線破片與停機等狀況,牽動輝達(NVIDIA)AI晶片製造,甚至驚動三星等國外記憶體廠為此暫停報價。市場估計,全台七大晶圓廠因強震受影響的晶圓價值高達逾百億元。
初步統計403大地震造成九死近千人受傷,是繼1999年921大地震後,全台近25年來規模最大的地震,晶圓廠主要所在地新竹、台中等地震度均達五級,後續餘震多達上百起。
依半導體及面板廠等無塵室防災規範,廠區發生規模達四級地震,機台就會主動停機,並且必需疏散無塵室人員,403大地震後,全台主要晶圓廠包括台積電、世界、聯電、力積電、南亞科、華邦、旺宏等七家業者幾乎都出現生產線破片與停機的狀況。
針對403大地震,台積電表示,工安系統正常,為確保人員安全,依公司內部程序啟動相關預防措施,部分廠區已進行疏散,目前人員皆安全並開始陸續回到工作崗位,詳細情況尚待確認。
世界指出,強震後即時疏散公司員工,無人員受傷,對生產的實際影響仍確認中。聯電表示,影響輕微、會努力趕工彌補停工復機的損失,對財務業務無重大影響。
力積電回應,無人員受傷、無產線中斷,惟正在確認石英爐管、機台設備有無損壞中。華邦指出,昨天第一時間疏散同仁,產線機台部分停機確認沒問題後,已復機生產。
相較之下,IC設計業與封測業相對影響不大。
業界人士分析,晶圓廠內黃光區最怕地震,昨天強震發生當下,所有晶圓廠內的黃光區勢必都受影響,爐管等裝置也難逃衝擊,生產線上的晶圓都必須報廢重新來過,加上先進製程使用的極紫外光(EUV)設計精密,產線必須暫停檢修,而且之後餘震不斷,會干擾生產線恢復狀況,影響晶圓廠生產與產出。
業界指出,從昨日各廠說法來看,晶圓代工廠影響程度各廠要四至五天進行盤點,各大廠也緊急調度更多輪班設備工程師處理。以各業者每月營業額估算,全台七大晶圓廠昨天強震後,生產線上晶圓價值損失逾百億元。