工商時報記者邱琮皓／台北報導
全球半導體極紫外光（EUV）設備龍頭大廠艾司摩爾（ASML）去年宣布在台擴大投資，興建林口新廠發展2奈米設備。經濟部證實，艾司摩爾「下世代晶圓量測設備研發夥伴計畫」已獲核定。據了解，在審查委員的來回磋商下，艾司摩爾同意再提高自製率、新增6家台灣供應商，在台採購金額也拉高至每年72億元。
艾司摩爾去年宣布在台擴大投資，落腳新北市林口工業區，艾司摩爾針對2奈米晶圓光學量測設備，也向經濟部申請「A+企業創新研發淬鍊計畫」，審查過程雖略有延宕，但經濟部技術處的審查作業也趕在5月底前完成。
經濟部也證實，艾司摩爾「下世代晶圓量測設備研發夥伴計畫」已經核定，全程計畫24個月，開發總經費新台幣9.5億元，補助經費新台幣2億8,500萬元、占計畫經費30％，其餘經費由廠商自籌。
艾司摩爾在計畫中規劃在台研發與製造生產下世代晶圓光學量測設備，由先前14奈米機型提升至2奈米機型，並自總部轉移量測底座、晶圓精密定位平台及等核心技術與台灣廠商共同研發及製造，強化在地供應商模組與系統設計製造能力，以帶動本土供應鏈技術層次與品質提升。
