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經濟日報記者李孟珊、尹慧中、鐘惠玲／綜合報導

 

台灣東部外海3日上午7時58分發生規模芮氏規模7.2強震，打亂全台半導體業生產，台積電（2330）等晶圓生產線均出現生產線破片與停機等狀況，牽動輝達（NVIDIA）AI晶片製造，甚至驚動三星等國外記憶體廠為此暫停報價。市場估計，全台七大晶圓廠因強震受影響的晶圓價值高達逾百億元。

 

初步統計403大地震造成九死近千人受傷，是繼1999年921大地震後，全台近25年來規模最大的地震，晶圓廠主要所在地新竹、台中等地震度均達五級，後續餘震多達上百起。

 

依半導體及面板廠等無塵室防災規範，廠區發生規模達四級地震，機台就會主動停機，並且必需疏散無塵室人員，403大地震後，全台主要晶圓廠包括台積電、世界、聯電、力積電、南亞科、華邦、旺宏等七家業者幾乎都出現生產線破片與停機的狀況。

 

針對403大地震，台積電表示，工安系統正常，為確保人員安全，依公司內部程序啟動相關預防措施，部分廠區已進行疏散，目前人員皆安全並開始陸續回到工作崗位，詳細情況尚待確認。

 

世界指出，強震後即時疏散公司員工，無人員受傷，對生產的實際影響仍確認中。聯電表示，影響輕微、會努力趕工彌補停工復機的損失，對財務業務無重大影響。

 

力積電回應，無人員受傷、無產線中斷，惟正在確認石英爐管、機台設備有無損壞中。華邦指出，昨天第一時間疏散同仁，產線機台部分停機確認沒問題後，已復機生產。

 

相較之下，IC設計業與封測業相對影響不大。

 

業界人士分析，晶圓廠內黃光區最怕地震，昨天強震發生當下，所有晶圓廠內的黃光區勢必都受影響，爐管等裝置也難逃衝擊，生產線上的晶圓都必須報廢重新來過，加上先進製程使用的極紫外光（EUV）設計精密，產線必須暫停檢修，而且之後餘震不斷，會干擾生產線恢復狀況，影響晶圓廠生產與產出。

 

業界指出，從昨日各廠說法來看，晶圓代工廠影響程度各廠要四至五天進行盤點，各大廠也緊急調度更多輪班設備工程師處理。以各業者每月營業額估算，全台七大晶圓廠昨天強震後，生產線上晶圓價值損失逾百億元。